|
Авторы: А.Л. Степанов, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин, А.М. Рогов, Д.А. Коновалов Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ КазНЦ РАН Предложена классификация концептуальных сценариев (парадигма) модификации поверхности Ge, сопровождающееся порообразованием, при высокодозовом ионном облучении и вызываемой конкурирующими процессами распыления и распухания материала. Предложенная парадигма ситуационного поведения (концептуальных сценариев) на примере облучаемого Ge, может быть рассмотрена и применена к широкому классу полупроводниковых материалов (GaN, GaAs, GaSb, Si и др.), также демонстрирующих порообразование на своей поверхности при ионном облучении.
Рис. 1. Примеры сценариев изменения уровня модифицируемой поверхности c-Ge при порообразовании (PGe) во время облучения ионами Bi с различными энергиями
Публикации:
Исследования проводились в рамках выполнения грантов РНФ № 25-29-00022 (рук. Степанов А.Л.) и госзадания ФИЦ КазНЦ РАН «Физика функциональных материалов и гибридных мезоскопических структур для микроэлектроники, энергетики и информационных технологий», руководитель Л.Р. Тагиров, №125031903979-7. Приоритетное направление ПФНИ: 1.3.2.6. Физика поверхности, границ раздела и других протяженных дефектов |